Sistem Tungku PECVD
Produk ini adalah sistem PECVD terbuka geser berukuran sedang. Sistem Tungku Tabung PECVD ini dilengkapi dengan catu daya RF plasma, sistem pencampuran gas aliran massa tiga arah (dengan rentang 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, dan 1-200 SCCM), tungku tabung terbuka berdiameter 60 mm (dengan flensa vakum dan pipa penghubung), dan pompa mekanis.
Informasi Produk
| Model Produk | Sistem Tungku Tabung PECVD Geser——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Parameter produk utama | Catu daya: 220V 50/60Hz; Nilai daya: 3,1 kW; Suhu pengoperasian maksimum: 1200°C (<0,5 jam); Suhu pengoperasian berkelanjutan: ≤1100 °C; Tingkat pemanasan yang disarankan: ≤10°C/menit; Panjang zona pemanasan: 440mm; Termokopel: tipe K |
| Fitur Utama | Catu daya RF dapat mencapai peningkatan plasma dan secara signifikan mengurangi suhu eksperimental; kenaikan dan penurunan suhu yang cepat dapat dicapai dengan menggeser badan tungku; tekanan film dapat dikontrol oleh frekuensi catu daya RF; stoikiometri dapat dikontrol dengan penyesuaian proses; berbagai bahan seperti SiOx, SiNx, SiOxNy dan (a-Si:H) dapat diendapkan |
| Elemen pemanas | Kawat paduan besi-kromium-aluminium 0Cr21Al6Nb |
| Ukuran tabung tungku | Diameter tabung kuarsa opsional: Φ60 |
| Sistem kontrol suhu | Termasuk pengontrol suhu YD858; Kontrol PID dan penyesuaian penyetelan mandiri, kontrol cerdas yang dapat diprogram 50 segmen, dengan fungsi alarm suhu berlebih dan kelelahan; akurasi kontrol suhu: ±1℃ |
| Catu daya RF plasma | Catu daya RF 300W; Daya keluaran: 0~300W dapat disesuaikan; Frekuensi RF: 13.56MHZ; Pencocokan otomatis; Tingkat kebisingan <50dB; Metode pendinginan: Pendinginan udara; Tegangan masukan: 180~250V |
| Antarmuka flensa penyegelan vakum | Konfigurasi standar: sepasang flensa vakum baja tahan karat dan cincin penyegel silikon suhu tinggi; flensa outlet adalah flensa tiga port K16, KF25, dan Φ8.2; flensa outlet dapat dihubungkan ke adaptor KF25 dengan bellow dan kemudian ke pompa vakum. |
| pompa vakum | Mengadopsi pompa vakum mekanis baling-baling putar ganda TRP-12; tingkat vakum bisa mencapai 10-2torr; aksesoris sambungan vakum dilengkapi dengan klem KF25 dan bellow stainless steel untuk menghubungkan tungku tabung dan pompa vakum |
| Sistem pasokan gas | Sistem pencampuran aliran massa tiga arah - GYS-3Z; Catu daya: 220V 50/60Hz; Rentang pengukuran: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Pengukur tekanan mekanis dipasang di panel depan dan dihubungkan ke pipa pencampur; Kisaran pengukur tekanan: -0,1-0,15MPa; Ukuran tangki pencampur: Φ80*120mm; Pipa penghubung internal adalah Φ6.35 |
| Struktur tungku | Badan tungku dapat dipindahkan ke kiri dan kanan, dan catu daya RF dapat dipindahkan ke kiri dan kanan. Badan tungku dan catu daya RF dipasang pada rel geser yang sama dan menggunakan tabung kuarsa yang sama. |
| Standar sertifikasi dan komponen inti | Komponen inti dari keseluruhan alat berat telah mematuhi standar sertifikasi CE, UL, MET dan lainnya; komponen inti meliputi komponen kelistrikan ABB, kabel dan kabel bersertifikat UL, Omega, Yudian, instrumen Continental, dll. |
Hubungi Kami
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. didirikan pada tahun 2015. Ini adalah perusahaan profesional yang mengembangkan dan memproduksi material suhu tinggi hemat energi ultra ringan, dan menjual tungku listrik eksperimental, tungku listrik industri, dan tungku listrik kustom non-standar. Profesional Sistem Tungku PECVD Produsen dan Sistem Tungku PECVD PabrikPerusahaan ini berpegang pada prinsip "bertahan hidup melalui kualitas, pengembangan melalui reputasi" dan menjunjung tinggi filosofi bisnis "praktis, integritas, dan efisiensi". Kami berkomitmen untuk menyediakan solusi peralatan yang komprehensif dan berkualitas tinggi untuk pelanggan di berbagai industri seperti keramik, metalurgi, elektronik, kaca, dan teknik kimia. Kami juga menyediakan layanan seperti pemanggangan bubuk, sintering keramik, dan eksperimen suhu tinggi untuk universitas, lembaga penelitian, dan perusahaan industri dan pertambangan. Pada saat yang sama, kami juga berupaya untuk mempromosikan pengembangan strategis serat alumina suhu tinggi Nengcheng yang ringan, hemat energi, dan ramah lingkungan di bidang tungku baru, dan berupaya menjadi penyedia layanan industri peralatan suhu tinggi canggih terkemuka secara internasional. Sistem Tungku PECVD Kustom.
Berita Terbaru
-
Pengantar Perlakuan Panas Vakum Perlakuan panas vakum adalah proses metalurgi canggih yang digunakan untuk meningkatkan sifat mekanik dan daya tahan komponen industri. Dengan memanaskan material dalam lingkungan vakum, oksidasi dan kontaminasi diminimalkan, sehingga menghasilkan kinerja material yang presisi dan konsisten. Teknik ini banyak diterapkan di industri seperti dirgantara, otomotif, manufaktur perkakas, dan elektronik. Peningkatan Kekuatan dan Kekerasan Material S...
